深圳市液氬配送地址 氬氣氣體供應(yīng)商品質(zhì)保障
氬氣 是目前工業(yè)上應(yīng)用很廣的稀有氣體。它的性質(zhì)十分不活潑，既不能燃燒，也不助燃。在飛機(jī)制造、造船、原子能工業(yè)和機(jī)械工業(yè)部門，對特殊金屬，例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時(shí)，往往用氬作為焊接保護(hù)氣，防止焊接件被空氣氧化或氮化。
高純氬氣 主要用途：用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣，為了提高硅晶體的質(zhì)量，如何選用較高純度的氬氣，是制作硅晶體的一個(gè)議題。通過對本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時(shí)，水分也小于1ppm時(shí)，制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到要求，贏得客戶的滿意和市場的需求。由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍，但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量，所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何，只要經(jīng)過純化裝置的處理后，進(jìn)入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。一般 O2＜0.2ppm,水分＜1ppm，這樣穩(wěn)定的氬氣對生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有保證的。
氬氣的技術(shù)指標(biāo)
液氬/5.0N:氬氣含量99.999%,氫≤0.5ppm,氧≤1.5ppm,氮≤4ppm,一氧化碳≤0.3ppm,二氧化碳≤0.4ppm,甲烷≤0.4ppm,水分≤3ppm
純氬/4.0N:氬氣含量99.99%,氫≤5ppm,氧≤10ppm,氮≤50ppm,一氧化碳≤5ppm,二氧化碳≤10ppm,甲烷≤5ppm,水分≤15ppm
高純氬/4.0N:氬氣含量99.999%,氫≤0.5ppm,氧≤1.5ppm,氮≤4ppm,一氧化碳≤0.3ppm,二氧化碳≤0.3ppm,甲烷≤0.4ppm,水分≤3ppm
超純氬/4.0N:氬氣含量99.9999%,氫≤0.1ppm,氧≤0.2ppm,氮≤0.5ppm,一氧化碳≤0.1ppm,二氧化碳≤0.1ppm,甲烷≤0.1ppm,水分≤0.2ppm
氮?dú)獾陌b規(guī)格
50L鋼瓶:氣體壓力19.5±0.5MPa,氣體體積10000L,氣體凈重15.9kg
40L鋼瓶:氣體壓力13.5MPa,氣體體積5400L,氣體凈重8.6kg
10L鋼瓶:氣體壓力10MPa,氣體體積1000L,氣體凈重1.6kg
4L鋼瓶:氣體壓力10MPa,氣體體積400L,氣體凈重0.6kg
杜瓦罐:氣體壓力1.6~3.4MPa,氣體體積130~151Nm3,氣體凈重214~250kg
槽車:氣體壓力0.8MPa,氣體凈重20噸以上
鋼瓶接口:QF-2、PX-32外螺紋/內(nèi)螺紋,螺紋出口G5/8(外徑22.911,牙數(shù)為14牙/英寸,螺距為1.814毫米,牙高1.162,小徑20.587,CGA589)
